專精特新成笑話?被ASML指控侵權!國產光刻機自研還有希望嗎?

ASML在全球晶片供應鏈中佔據舉足輕重的地位,壟斷了EUV光刻系統的供應,而這是目前7nm及以下先進製程所不可或缺的一環。

2月9日,ASML釋出了2021年度報告。2021年,ASML光刻機銷售額為136。53以歐元,其中EUV光刻機銷售額佔比更是高達46%。在先進製程競爭下,作為核心之一的EUV光刻機無論是單價還是銷售量,都在不斷提升。

而ASML在財報說明會上還表示,預計2022年公司營收將增長20%,全年預計出貨55臺EUV光刻機,其中6臺會在2023年確認收入。

但另一方面,美國政府在2019年向荷蘭施壓,禁止ASML向中國出售其EUV光刻系統。這就導致國內晶圓代工企業無法觸及到7nm及以上先進製程,EUV光刻機,成為了國內建立自主晶片產業鏈面前的一座大山。

其實ASML一直以來都表示反對出口禁令,表示這種行為會損害全球半導體行業的良性發展,但時至今日,依然無法獲得向中國出口EUV光刻系統的出口許可。

不過ASML在2021年年度報告中,提到了此前被指控盜取其商業機密的一家公司,可能已經開始銷售侵犯ASML智慧財產權的產品。

ASML表示侵犯他們智慧財產權的這家公司名為XTAL,而他們認為與XTAL相關的中國公司——東方晶源可能在中國銷售相關侵權產品。同時,ASML已告知中國政府相關情況,並聯繫了部分客戶,要求他們暫停與XTAL有關聯的東方晶源業務往來。

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外媒也沒有放過這次機會,彭博社在報道里就陰陽怪氣了一番,稱中國公司經常被指控“竊取外國公司的商業機密”,還著重強調“尤其是與美國”,並有意將矛頭轉向北京。

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畢竟在2019年ASML官網上關於XTAL侵權的說明中,ASML就表示“對這種陰謀論的猜測感到失望”。連事件主人翁都還未發生,媒體就先開始惡意揣測,目的可想而知。

但媒體歸媒體,侵權的還需要事實證明。根據公開資料瞭解到,XTAL成立於2014年,創始人中包含至少兩名ASML前員工,他們曾在ASML負責計算光刻方面的開發。但一些前員工跳槽至XTAL後,ASML曾被告知XTAL業務不包括計算光刻,但事實上,XTAL的業務不僅包括了計算光刻,而且非法利用ASML的相關技術。

而在XTAL成立一年後,就成功搶下ASML的多位大客戶,包括三星。因此2016年,ASML對XTAL發起了訴訟。根據相關檔案顯示,2018年11月,法院最終裁定XTAL盜竊智慧財產權的行為屬於惡意,ASML指控的數項罪名——誘使ASML前僱員違反合同、協助和教唆前僱員違反其誠信義務,以及多次違反加州的計算機資料訪問和欺詐法案,全部成立。

XTAL最終需要賠償8。45億美元。但在裁決前,XTAL就已經宣告破產,於是ASML獲得了XTAL的所有智慧財產權。

ASML還在後來澄清,竊取智慧財產權的員工來自多個國家,並向韓國客戶出售。不過,ASML還表示,XTAL有來自中國和韓國的資金支援。

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而東方晶源到底跟XTAL有沒有關係?我們瞭解到,東方晶源成立於2014年,最初是以電子束影象檢測、量測和良率提升軟體解決方案為核心業務方向,並在2017-2019年間,獲得了國家級專項支援;在電子光學系統研發中取得突破,首次得到奈米級電子束影象;首臺套電子束檢測裝置向國內主流積體電路製造客戶交付;同時首臺套OPC軟體也通過了客戶驗證。

在起訴XTAL之時,ASML並沒有提到東方晶源,但這次年報中ASML表示會在“適當的時候採取法律行動”,或許是已經獲得部分證據。

東方晶源在去年被評為第三批專精特新“小巨人”企業。由工業和資訊化部開展的專精特新“小巨人”企評定是全國中小企業評定工作中最高等級、最具權威的榮譽稱號。“專精特新”是指“專業化、精細化、特色化、新穎化”,能夠被評定為專精特新“小巨人”企業均為細分領域中,創新能力強、市場佔有率高、掌握關鍵核心技術、質量效益優的排頭兵。

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而其自主研發的計算光刻軟體(OPC)、奈米級電子束檢測裝備(EBI)和關鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)三款核心產品,填補了國內相關領域的空白,並且在產業化方面快速邁進,是目前國內唯一產線驗證並實現訂單的產品,對我國半導體裝置供應鏈安全具有戰略意義。

而ASML關注的應該是計算光刻軟體方面的侵權可能,如果最終侵權事件最終被確認,這對國內半導體裝置行業可能也會造成一定影響。

在光刻系統中,計算光刻起到最佳化工藝的作用。因為光刻工藝過程可以用光學和化學模型,藉助數學公式來描述。光照射在掩模上發生衍射,衍射級被投影透鏡收集並會聚在光刻膠表面,這一成像過程是一個光學過程;投影在光刻膠上的影象激發光化學反應,烘烤後導致光刻膠區域性可溶於顯影液,這是化學過程。計算光刻就是使用計算機來模擬、模擬這些光學和化學過程,從理論上探索增大光刻解析度和工藝視窗的途徑,指導工藝引數的最佳化。

對於東方晶源來說,計算光刻軟體只是其業務的一部分,對其整體公司運營影響有限。但近期包括海能達再被美國司法部起訴與前摩托羅拉員工竊取技術等事件,可以看出,在我國相關產業發展初期,對於智慧財產權的忽視導致了各種“秋後算賬”的事件發生。而這些事件對於如今國內推動積體電路產業發展也起到了警醒作用,要想不被抓“把柄”,除了自身實力強之外,還需要加強對智慧財產權稽核、維護的工作。

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