科技專精特新成笑話?被ASML指控侵權!國產光刻機自研還有希望嗎?ASML表示侵犯他們智慧財產權的這家公司名為XTAL,而他們認為與XTAL相關的中國公司——東方晶源可能在中國銷售相關侵權產品...日期:2022-02-12TAG: ASMLXTAL光刻EUV晶源