國產首臺裝置進行晶圓廠驗證!ASML時間不多了

ASML一直都希望在中國加快市場佈局,但是和ASML預想中的不一樣,因為無法做到EUV光刻機的自由出貨,所以在更大層面的高階晶片製造市場,ASML無法從大陸客戶手中獲得訂單。

相反,中企已經開始深入國產供應鏈合作了,與各大國產半導體裝置廠商加緊合作,國產半導體裝置供應鏈也在持續發力。具體都有哪些進展表現呢?ASML還有哪些機會?

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國產半導體裝置供應鏈持續發力

中國不僅是全球最大的晶片消費市場,而且也是最大的半導體裝置消費國。據《全球半導體裝置市場統計報告》顯示,我國在2021年全球半導體制造裝置銷售市場中佔據第一,銷售額高達296 億美元,相當於2010億元人民幣,同比增長58%。

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這樣的銷售額表現和增長效果,都突出了中國市場有巨大的半導體制造裝置消費需求。在整個的晶片製造行業中,有關的半導體裝置供應商都在迎來強勁的出貨表現。

結合國產半導體裝置供應商的技術突破,交付驗證進展等一系列的工作展開,在供應鏈當中取得了持續發力的效果,具體都有哪些進展表現呢?

需要清楚的是,半導體制造裝置有非常多的種類,每一個晶片製造步驟流程都會有一個或多個的裝置需求。

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分別來看,至純科技可以提供清洗裝置,可用於28nm節點。預計在2022年期間14nm以及7nm工藝的裝置可以提供客戶進行驗證,而至純科技的客戶包括中芯國際,長鑫儲存等巨頭。

另外在離子注入機方面凱世通也傳出好訊息。據悉,

萬業企業旗下的凱世通研發的高能離子注入機已經透過客戶驗證,驗收,實現國內首臺高能離子注入機進行晶圓廠驗證。

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不僅如此,中國電科旗下的裝備子集團也實現28nm全譜系的離子注入機突破,覆蓋中束流,大束流及高能等等。

何止這些,中微半導體的刻蝕機成功進入臺積電5nm生產線,上海微電子實現國內首臺3D/2。5D封裝光刻機交付,盛美半導體實現18 腔 300mm Ultra C VI 單晶圓清洗裝置量產,對沉積前清洗,聚合物清除等關鍵清洗作業有出色的表現。

隨著這些國產半導體裝置供應商,企業的發展,在各式各樣的半導體制造裝置當中都取得了顯著的進展。有的已經交付實際產品,有的還在研製的路上。

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就像國望光學已經開始為曝光系統生產專案公開招標了,一旦專案完成,那麼國產光刻機裝置將再添助力。

ASML還有哪些機會?

面對國內龐大的半導體裝置銷售市場,不難看見有許多國產廠商的身影。同時國外的半導體裝置廠商ASML也在積極佈局中國市場,表示會加快佈局,保持和中國市場的開放合作。

但ASML有怎樣的出貨狀態大家都知道,大部分的裝置都能出貨,唯獨最高階的EUV光刻機不能向大陸客戶提供。

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ASML也闡明瞭這不是他們的選擇,但實際情況就擺在眼前,面對中國半導體裝置市場的發展增速,而國產廠商們的進展突破,如果ASML不積極開展布局,中企就要和ASML說再見了。

一旦大陸客戶與大陸廠商強強聯手,建立訂單協議,採購包括光刻機在內的國產裝置,ASML還有哪些機會呢?提供給ASML的機會選擇並不是沒有,大致來看主要包括兩個。

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第一個:加速新一代NA EUV光刻機的落地。

ASML已經打算採用高數值孔徑系統用於下一代NA EUV光刻機,這是比普通EUV光刻機還要昂貴,先進及複雜的光刻機,預計價格將達到20億元人民幣。

但如此先進的裝置,研製成功並量產都是不容易的。可要是ASML真的掌握NA EUV光刻機的量產,其在全球半導體裝置行業的影響力會更加深厚。當然,前提是加速新一代NA EUV光刻機的落地。

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第二個:維持現有中低端光刻機的合作。

ASML知道自己可自由出貨的裝置包括哪些,除了EUV光刻機裝置之外,其餘的裝置都能自由供貨。

比如DUV、ArF、KrF型號的光刻機,靠這些裝置可以給ASML提供出貨保障,用維持現有中低端光刻機的合作方式彌補無法自由出貨EUV光刻機的問題。

不過中低端光刻機的需求量總會達到飽和,而且在技術難度方面,國產並非沒有希望破冰,到時候ASML的中低端光刻機能否像往常一樣迎來海量訂單,就不得而知了。

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寫在最後

中企在國產半導體裝置產業鏈持續發力,國產廠商的裝置也在提供給中企客戶,包括光刻機同樣迎來自主化發展需求。按照這種趨勢發展下去,估計要說“再見了,ASML。”

至於ASML能否透過眼前的兩個機會抓住市場契機,只能靜觀其變了。

對此,你們怎麼看呢?歡迎留言和轉發。

TAG: ASML光刻機裝置半導體EUV