ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

當下,全球正面臨著十分嚴峻的晶片短缺。在這樣的國際形勢下,最重要的無疑就是光刻機,特別是EUV高階光刻機。但是,目前全球的光刻機貿易基本上都被阿斯麥爾壟斷。當然,這也是沒辦法的事情,畢竟阿斯麥爾有著核心的組裝技術和佈滿全球的產業鏈。

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

但是,近年來,由於我國在光刻機方面取得的突破,使阿斯麥爾頻頻對我國示好,用盡一切辦法儘可能加大對我國的佈局。但是,我國為了更好地實現獨立自主,最近攻破了EUV光刻機的專利壁壘。那麼,我國攻破這個專利壁壘,對於我國而言,會產生怎樣的影響呢?

阿斯麥爾的佈局

眾所周知,近年來,阿斯麥爾對於我國的態度可以說是發生了翻天覆地的變化。之前,阿斯麥爾的光刻機總是千金難求,如今,除了EUV光刻機之外,其他型別的光刻機不僅可以向我國進口,甚至還承諾會盡量滿足我國的需求。更重要的是,在價錢上,阿斯麥爾還特別降價。

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

其實,阿斯麥爾的頻頻示好,可能想要趁著我國國產光刻機還沒有落地,抓緊佈局我國市場,避免日後被排擠出去。但是,阿斯麥爾這次的佈局恐怕要面臨泡湯了,因為我國在最近打破了EUV光刻機的專利壁壘。

我國打破光刻機專利壁壘

眾所周知,阿斯麥爾在我國,最近兩年裡申請了三千多項光刻機技術專利。換言之,就是說如果在生產光刻機過程中,使用了阿斯麥爾光刻機的技術,就算造出來了,沒有阿斯麥爾的許可一樣沒用。美國其實就是用這樣的專利壁壘,才能涉足阿斯麥爾光刻機的出售。

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

但是,我國最近很多機構打破了光刻機的專利壁壘。首先就是我國的長春光機所,它突破的是雙波長鐳射共軸輸出系統和方法。主要就是透過CO2鐳射器,同時輸出雙波長鐳射。

接著就是中科院,2020年10月7日,中國科學院高能物理研究所成功研發出極紫外光源技術。這項技術主要就是解決目前極紫外光功率和波長無法調整的問題,畢竟如果極紫外光無法調整,那麼就會影響到光刻的解析度,進而影響到晶片的質量。

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

最後就是四川大學突破了光刻機的光源技術,這種光源可以運用在DUV、EUV等中高階光刻機身上,主要就是保證裝置能夠穩定高效地產生13。5奈米光源。

以上我國在光刻機領域取得的種種技術突破,其實阿斯麥爾都沒有完全掌握,因此,就這樣看來,也可以說我國突破了阿斯麥爾的光刻機專利壁壘。那麼,在我國打破光刻機專利壁壘的當下,對於我國而言,又會帶來哪些影響呢?

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

打破專利壁壘對我國有什麼影響?

首先,為光刻機國產化更進一步

眾所周知,光刻機要想實現國產化,那麼就必須要突破光刻機的核心技術。但是,僅僅突破還是不夠的,由於阿斯麥爾給自己生產的光刻機申請了一堆的專利,如果沒有突破阿斯麥爾沒有突破或者沒完全突破的技術,那麼技術突破就沒用了。

而我國突破的專利恰恰正是阿斯麥爾沒有完全掌握的技術。因為,隨著我國突破核心技術,將會使得我國在光刻機國產化的道路上,邁進一大步。

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

其次,滿足我國晶片需求

我國打破了阿斯麥爾的專利壁壘,使阿斯麥爾都主動要將除了EUV光刻機之外的產品降價出口到我國。在目前全球晶片荒的當下,藉著我國突破專利壁壘的福,至少能滿足我國的晶片需求。

可能有人會說,阿斯麥爾不是隻向我國出口中低端光刻機嗎?確實沒錯,但是,當下缺乏的不就是中低端光刻機生產出的中低端晶片嗎?

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

最後,提高我國國際地位。

突破阿斯麥爾光刻機的專利壁壘,這樣的科研成就放眼全球可能都沒有幾個國家或者地區能夠做到。但是我國偏偏就做到了。這在一定程度上可以向國際社會證明我國強勁的科研實力。在科技實力成為綜合國力重要考量因素的今天,對於提高我國的國際地位,還是很有幫助的。

我國突破阿斯麥爾高階光刻機的技術壁壘,可能很多人會好奇,我國是否有希望實現EUV光刻機國產化呢?

ASML佈局泡湯了?中國科學家打破光刻機壁壘

我國有希望實現國產EUV光刻機嗎?

首先,EUV光刻機供應鏈太廣太多

其實,我國要想實現EUV光刻機的國產化,至少就目前來看不太可能。眾所周知,光刻機雖然是由荷蘭阿斯麥爾公司生產的,但是,如果真要較真的話,阿斯麥爾其實也不過就是一個組裝廠而言。

其中,EUV光刻機的零件都是需要從全球各地進口的,換言之,阿斯麥爾就是因為有全球光刻機生產鏈,所以才能壟斷光刻機貿易市場。而這樣的生產鏈,我國目前可能還無法佈局。

其次,EUV光刻機組裝技術被壟斷

眾所周知,EUV光刻機是一個全球貨,身上的零件可能來自全球各地不同企業和工廠。在這種情況下,EUV光刻機的零件之間就會產生很大的公差。如果沒有專業的組裝技術,那麼在使用過程很有可能會出現各種各樣的故障和意外。

但是,專業的組裝圖紙目前在阿斯麥爾手中,因此我國就算成功拿到或者生產出阿斯麥爾光刻機身上的零件,也沒有辦法組裝起來。

總結

阿斯麥爾近年來在我國的佈局,其意圖無非是為了能儘可能保住我國市場,但是,就目前來看,阿斯麥爾的意圖因為我國突破EUV光刻機核心技術可能就要落空。未來,我們依舊希望我國相關企業或科研機構能夠再接再厲,儘早在高階光刻機領域,展現出耀眼的中國之光。

TAG: 光刻機麥爾阿斯我國EUV