圖源：ETNews
集微網訊息，韓國光刻膠供應商東進世美肯（Dongjin Semichem）表示，近日通過了三星電子的EUV光刻膠可靠性測試（合格）。這款光刻膠為雙方合作研發，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應商的局面，最快有望明年上半年向產線批次供應。
據ETNews報道，業內人士表示，“東進世美肯在其位於京畿道的華城工廠開發了EUV光刻膠，並在三星電子的華城EUV生產線進行了測試，最終獲得了資格。”並補充道：“兩家公司的合作，使得EUV光刻膠能夠以高技術水平快速開發。”
據瞭解，雖然KrF和ArF氟化物工藝的光刻膠在韓國已經大量生產，但沒有能夠繪製更精細電路的EUV光刻膠。這是因為開發非常困難，韓國國內使用的EUV光刻膠大部分是從日本進口的。
2019年日本出臺出口限制措施後，東進世美肯開始利用自己的基礎設施，如現有的氟化氬曝光機和比利時半導體研究所（IMEC）的EUV裝置，將EUV光刻膠本土化。同時，三星提供了EUV測試環境並且成功提高了光刻膠質量，使其能夠被成功應用。
三星是否會立即在其半導體產線上使用東進世美肯的EUV光刻膠，還有待觀察。通常情況下，測試合格後就會用於大批次生產。因此，有人預測，最早將於明年上半年供應。
雙方拒絕就EUV光刻膠認證是否透過一事向ETNews發表評論。三星有關人士表示：“無法與合作伙伴確認是否透過EUV光刻膠驗證”，“正在努力使半導體材料、零部件、裝置（來源）多樣化。”
（校對/holly）