科技挑戰EUV光刻!全新晶片技術量產:華人首創NIL比拼EUV由於EUV裝置太過昂貴,且生產難度很高,近些年,業界一直在尋找其它辦法,不用EUV光刻機,能不能生產7nm及以下的晶片...日期:2021-11-28TAG: EUVNIL裝置光刻製程