集微網訊息 7月15日-16日，由廈門市海滄區人民政府、廈門市工業和資訊化局、廈門火炬高技術產業開發區管理委員會指導，中國半導體投資聯盟、手機中國聯盟主辦，廈門半導體投資集團、愛集微承辦的2022年第六屆集微半導體峰會在廈門國際會議中心酒店舉行。
期間，國家高新技術企業，國家專精特新小巨人企業，國家積體電路產業技術創新戰略聯盟成員單位徐州博康資訊化學品有限公司（以下簡稱“徐州博康”）亮相峰會。
作為全球最大的半導體消費國家，我國半導體消費的市場規模已經超過全球總量的三分之一，但在晶片從前道到後道的很多核心工藝流程和節點上仍高度依賴美日等海外大廠。比如光整個晶片製造成本約35%的光刻工藝是亟需國產替代突破的典型環節。光刻膠雖然往往佔IC總製造成本的不到5%，卻可以“以小博大”，成為IC製造之上游材料卡脖子的關鍵性標靶。打破海外壟斷，打造自主可控的供應鏈體系的責任感催生了一批迎難而上的國內光刻膠廠商。
徐州康博就是國產光刻膠替代視窗期的傲立潮頭者。該公司專注於高階光刻材料的國產化，打造了從光刻膠單體、專用樹脂、光酸以及光刻膠中端產品的全產業鏈。公司產品已經涵蓋了193nm/248nm光刻膠單體，193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等在內的先進的積體電路光刻材料，擁有完備的光刻膠鏈條（單體+樹脂+光酸+光刻膠），可以完全實現由初始原料到成品膠的自主化生產。
以點帶面，取法乎上，實現半導體光刻膠產品線的全面突破
按照應用領域，光刻膠分為PCB光刻膠、平板顯示光刻膠和半導體光刻膠等等，技術壁壘和行業准入門檻從低到高。追隨摩爾定律，光源波長與加工線寬呈線性關係，根據IC製造的整合度和工藝要求的不同，光刻膠主要由主要的光刻膠由g、i、KrF、ArF等四類組成。對於產品線的佈局和進展，徐州博康在峰會上通過幾組數字，向集微網闡述了企業是如何迎難而上，以點帶面，產品線全面開花且做到勢如破竹的。
徐州博康介紹，截至2021年已實現30多款光刻膠產品銷售，服務於國內積體電路不同細分市場客戶。尤其是去年國內遭遇日本信越材料的供應風險，經過於客戶的充分溝通，在過去一年多的時間努力推進50餘款光刻膠的開發及驗證，其中60%以上是KRF/ARF光刻膠，90%以上針對12寸晶圓廠客戶的需求定製開發。
博康ARF幹法光刻膠於2019年獲得客戶認可開始生產銷售，是國內最早實現ARF光刻膠連續批次穩定供應的企業。目前博康ArF光刻膠有多個產品處於開發或客戶驗證中，主要分為L/S及Contact hole兩類產品，其中應用於通孔工藝的ArF溼法光刻膠，可應用至40nm/28nm工藝節點，是我國第一款國產化的ArF溼法通孔光刻膠。
博康KrF光刻膠技術能力及產品覆蓋面更廣，產品應用涵蓋90nm、55nm、40nm、28nm及以下的關鍵層工藝以及積體電路、分立器件、感測器等應用領域。從光刻解析能力角度來看，已成功開發了可應用於28nm節點的IC端KRF高分辨正膠（pitch 240nm）；從光刻膠膜厚的角度來看，博康KRF光刻膠覆蓋膜厚範圍廣，已開發出至15um的超厚KRF光刻膠。此外，博康的KRF高分辨金屬剝離負膠NLOF HTKN601系列產品2016年即進入客戶，目前已經成為國內高效能濾波器製造工藝中的通用標杆光刻膠產品，協助國內濾波器客戶打造安全可靠的供應鏈體系。
徐州博康I線光刻膠有十幾種，主要為化學放大膠，產品種類涵蓋高能注入、抗刻蝕等關鍵層工藝以及PAD、lift-off等應用領域，已有多個產品透過國內多家12寸及8寸大客戶評估認證並正式生產供應。
核心技術關鍵指標和全鏈條協同雙規並驅
對於光刻膠玩家來說，客戶群的拓展和正向反饋是建立良好產業生態的關鍵要素，在半導體產業整體上供需不平衡的大背景下，如何把控上下游產能，完善向客戶的交付系統，也是企業在這一賽道把持杆位的關鍵舉措。
作為光刻膠領域國產替代第一梯隊的先鋒企業，徐州博康向愛集微著重指出了兩點，關鍵效能指標的過硬，以及全鏈條協同開發。
首先，企業的光刻膠單體聚焦於先進KRF/ARF產品，經過十餘年的努力，打破了日美對此類光刻膠單體的壟斷，是國內唯一規模化量產DUV單體的企業，已實現了完全國產化。在這一過程中，徐州博康目前的單體佈局已覆蓋全球80%的光刻膠單體產品技術，主要市場是日美韓等國外主流光刻膠企業。在最核心的金屬離子純化指標上，博康單體已經達到國際標準水平，其中液體單體產品達到了單項金屬離子小於1ppb，固體單體產品單項小於10ppb。
此外，徐州博康一直堅持單體/樹脂/光刻膠配方的自主可控的原則，經過長期的技術開發及規模化生產的積累，KRF/ARF光刻膠產品從光刻膠的配方除錯評估，樹脂配方篩選及聚合，到單體及光酸的選擇及合成各個環節全鏈條協同開發，一方面可加速產品迭代開發，另一方面徐州博康可為客戶提供“端到端”完全自主可控的光刻膠產品，提前為客戶規避上游光刻膠樹脂及光酸供應鏈主要仍在日韓甚至美國的風險。
東陽華芯：開啟新徵程
去年，華懋科技、徐州博康在浙江省東陽市聯合設立合資企業——東陽華芯電子材料有限公司，著力於實現我國高階乾溼法ArF和KrF光刻膠產品及相關光刻材料工藝與效能的全面提升。對此，徐州博康向愛集微闡述，公司對東陽華芯的前景高度看好並寄予厚望。
公司指出，東陽華芯預計2023年中投入使用，為正在加速的半導體光刻膠國產化提供更多的中高階光刻材料的開發及產能支撐。東陽華芯著力於實現我國高階乾溼法ArF\KrF光刻膠產品及相關光刻材料工藝與效能的全面提升，透過穩定持續的量產供應，提高半導體光刻膠的國產化水平。新的生產基地“擬建設年產8000噸中高階半導體光刻材料”，產品為中高階半導體光刻膠及其配套材料，主要包括ArF光刻膠系列、KrF光刻膠系列、半導體厚膜封裝膠，半導體用光敏性聚醯亞胺（PSPI）等。
寫在最後
徐州博康去年投產了年產1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠，經過多方稽核評估，於2021年底正式生產，是國內最大的半導體光刻材料生產基地，包含電子級溶劑，光刻膠單體，樹脂及光刻膠的一體化生產體系。目前已透過多家FAB客戶驗廠稽核並獲得合格供應商資質。博康工廠光刻膠車間的設計產能為2500加侖/月，正在穩步提升產能利用率。
秉承創新、誠信、精進的企業宗旨，光刻膠單體產品目前已經打入了國內外光刻膠公司的供應體系，已經成為JSR、東進、TOK、陶氏、住友、錦湖等國際大廠的光刻材料穩定供應商，同時很好的解決了國內單體產品的技術痛點，並打破了日本美國對單體產品的壟斷地位，已經實現了完全國產化，佔全球市場份額的18%，已覆蓋全球80%的光刻膠單體產品技術。徐州博康的研發匯入程序進入提速期，實現了由質及量的“聚合效應”，隨著市場佔有率的不斷提高，企業的增長曲線也在朝向立體化方向發展。