近日，36氪獲悉，深圳市克洛諾斯科技有限公司（以下簡稱“克洛諾斯”）完成由中芯聚源獨家投資的近億元融資。據悉，本輪融資資金將主要用於研發投入和人才引進。此前，克洛諾斯還曾獲得深圳華強創投和中小擔創投投資的A輪融資。
克洛諾斯成立於2015年，克洛諾斯主要提供超精密直線電機運動平臺。高精密運動控制平臺是實現精密定位和位移技術的主要載體，可用於新能源及鋰電池生產、半導體裝置、自動化工作站等多種場景，幫助實現工裝夾取、移載、定位等功能。
根據中國傳動網、中國運動控制產業聯盟、中國直驅產業聯盟釋出的資料，2021年直驅技術市場的總體規模超過40億元人民幣，比去年同期增長約40%。目前，美國Aerotech、美國Newport、德國PI、新加坡Akribis、臺灣HIWIN等企業佔據了中國直線電機60%以上的市場份額。
克洛諾斯總經理楊光告訴36氪，目前公司主要有三大塊業務。一是半導體裝置，二是精密平臺，三是小藍動力導軌。
半導體裝置是克洛諾斯目前著重發展的業務領域。克洛諾斯提供的奈米級精密平臺可用於晶圓檢測、晶圓切割、奈米檢測、光刻等多個業務場景。目前，公司精密平臺產品精度範圍覆蓋±1um至±5nm。
2021年年底，克洛諾斯還發布了重複定位精度達±50nm的超精密氣浮平臺，對標國際先進高階技術水平，能為晶圓切割、晶圓檢測、晶圓封裝等領域提供一個能實現精密定位、檢測和精確運動的載物平臺，成為先進的電子製造裝置，如光刻機和晶圓檢測工件臺，主要解決積體電路晶圓高精度零件在加工、檢測等方面的難題。
克洛諾斯半導體裝置產品
在精密平臺領域，克洛諾斯發展多年，其產品可用於面板行業、3C 精密鐳射加工、LDI直刻行業、精密檢測、PCB、光伏、鋰電等多個行業。目前，在精密平臺領域，克洛諾斯提供非標可定製化產品服務，已積累了7000多種研發案例，服務了京東方等眾多終端客戶。
如在新能源市場，高精密運動控制平臺可用於電芯卷繞，動力鋰電池高速焊接機平臺等場景；在面板行業，該產品可用於面板行業中的彎曲度檢測、觸控式螢幕ITO銀漿蝕刻等產品；而在半導體行業，光刻機、封裝環節的多種裝置對精度都要求極高，高精度的精密運動平臺是直接決定了裝置精度及執行效率的核心元件。
此外，克洛諾斯體還提供動力導軌產品。2021年釋出了全新自主研發的專利產品“小藍動力導軌，將電機與導軌有機結合，具備結構簡單、配件少、高剛性、高穩定性等特徵。它可以做到將重複定位精度從±10um提高到±3um，速度從1m/s提高到4m/s。該產品可用於3C自動化、太陽能光伏、新能源鋰電、汽車配件等多個產業。
楊光表示，在小藍動力導軌出來之前，精密直線傳動市場只有兩種選擇，不是絲桿傳動就是傳統直線電機。這兩種選擇對於很多客戶來說都不是最理想的選擇。絲桿的精度低，易磨損，傳統直線電機價格貴，成本高。
2021年，克洛諾斯營收實現過億，預計2022年將實現2億多的營收。
在創始團隊上，克洛諾斯總經理楊光從事直線電機 業15年，是深圳市高層次後備級人才；技術總監魯男從事直線電機應 15年，開發的半導體精密平臺對標美國AEROTECH， 現帶團隊有7000餘種 標平臺開發經驗，對半導體晶圓平臺有較強的研發能 。
目前，克洛諾斯共有約350名員工。總部位於深圳，在合肥、山東濟南分別設立子公司，有1。5萬平左右的生產基地。
中芯聚源董事總經理郎立研表示：選擇投資克洛諾斯的重要背景就是公司佔據著自動化、高階裝備賽道，產品具有特色，已經實現系統級‘know-how’創新；同時團隊市場化程度高、執行力強，並在產業鏈上深入磨合，業務穩步增長，本次投資後，中芯聚源將發揮在半導體產業積累的資源，幫助克洛諾斯從後端封測向前道晶圓製造，逐步深入佈局半導體裝備市場。