黨的百年華誕前夕
北京航空航天大學
獻上了一張特殊的生日“賀卡”
在
厚度為
5個原子層的
奈米磁性薄膜
上
北航科學家們寫下祝福
“
100年，中國‘芯’
”
2021年6月29日
新華社報道——
磁性晶片
可作為高可靠的資訊儲存模組
和高靈敏的磁訊號感測模組
應用於飛機、衛星的控制系統
以及手機電子羅盤、汽車自動駕駛等領域
磁性晶片生產過程中
需將
奈米磁性薄膜
均勻鋪在晶圓上
（晶圓：製作矽半導體積體電路所用的襯底）
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5個原子層的厚度
相當於一張普通列印紙的十萬分之一
要確保所有晶圓完全“躺平”有多難
？
相當於
在北京市海淀區的地面上
均勻鋪滿5層厚的小米粒
且須完全平整！
新華社記者 鞠煥宗 攝
因此
檢測薄膜的平整度尤為關鍵
磁性晶片生產過程中的
磁性薄膜檢測這一關鍵技術
屬於我國長期被“卡脖子”的技術
科研人員利用
檢測儀器
透過微小的磁性針尖在薄膜上寫字
若字的顏色對比度一致、字跡清晰
則表明薄膜具有良好的均勻性
完成平整度檢測後
將奈米薄膜製成器件
封裝後形成晶片
新華社記者 鞠煥宗 攝
這一檢測儀器
正是由北航積體電路科學與工程學院
工藝與裝備系科研團隊設計研發出的
晶圓級磁光克爾測試儀
“
對比國外同類裝置，這臺儀器在測試精度和速度等方面進行了技術革新，實現了自主創新突破。
——積體電路學院工藝與裝備系主任 王新河
”
該裝置現已應用於科研領域
且預計於今年10月
在產業領域投入商用
1993年
中國科學院科研團隊
用10個原子擺出“中國”字樣
標誌著我國可自主實現原子操縱
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如今，北航研製的
用於書寫“100年，中國‘芯’”的
晶圓級磁光克爾測試儀
為具有百億元市場規模的磁性晶片產業
提供裝置支撐！
新華社記者鞠煥宗 攝
從“中國”到“100年，中國‘芯’”
背後的科研突破
成為我國高科技自主創新能力不斷提升、
國家科技力量持續增強的一個縮影
服務國家重大需求
瞄準國際科學前沿
攻克“卡脖子”關鍵技術
實現高水平科技自立自強
作為全國第一個
積體電路科學與工程學院
一起再瞭解下
北航積體電路科學與工程學院
學院2003年獲批一級學科博士學位點，2004年獲批國家級積體電路人才培養基地，2015年獲批國家首批示範性微電子學院（籌），2016年獲批國家級國際科技合作基地，2019年獲批工信部重點實驗室。2020年，微電子學院正式更名為積體電路科學與工程學院。
學院目前下設“積體電路材料與器件”、“積體電路設計與工具”、“積體電路工藝與裝備”三個系，並承擔校級智慧微納公共創新中心建設。現有專職教師35人，諾貝爾獎得主、IEEE Fellow、國家級人才計劃入選者12人次。建有國家級教學科研基地2個、省部級教學科研基地2個。加強基礎研究實現原始創新，發表Nature子刊7篇，自旋電子等領域取得國際領先。加速開展“產教融合”，與華為、歌爾、航天科技等領軍企業建立多個校企聯合實驗室。與巴黎薩克雷、荷蘭埃因霍溫理工等國際知名高校開展雙博士碩士聯合培養，已有多位學生獲得國際雙博士學位。
研發晶圓級磁光克爾測試儀的
積體電路工藝與裝備系
於2021年3月正式成立
突出國際協同育人特色
在聯合實驗室框架下設立課題研究組
以面向產業應用的專案為載體
合作培養行業緊缺高水平研發人才
日前，積體電路學院趙巍勝教授
領銜編著的
《積體電路科學與工程導論》
也正式出版發行
這是
國內第一部
積體電路科學與工程專業的導論教材
“作為科研一線的基層黨員，
我覺得紮實搞研究、實現創新突破，
便是我們對建黨百年最好的獻禮。”
學院教師張學瑩如是說
北航科學家們
潛心研究 勇攀高峰！
邸白鷺 攝