剛剛!上海微交付光刻機!中國首臺!
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剛剛!上海微交付光刻機!中國首臺!

據悉,當時推出的新品光刻機主要應用於高密度異構整合領域,具有高解析度、高套刻精度和超大曝光視場等特點,可幫助晶圓級先進封裝企業實現多晶片高密度互連封裝技術的應用,滿足異構整合超大晶片封裝尺寸的應用需求,同時將助力封裝測試廠商提升工藝水平、開...