半導體面板屬於高階製造業，現場裝置大多從國外進口，裝置資料採集成本高。同時連續型生產過程對裝置穩定性依賴度高，停機損失大。傳統裝置管理模式已經無法滿足半導體企業對裝置管理需求。PreMaint裝置健康管理平臺專為新一代裝置管理而生，實現管理全場景閉環。
針對廠端CVD（化學氣相沉積）PUMP的非計劃停機問題， PreMaint對旋轉裝置的狀態監測和故障智慧診斷模組進行部署。現場PUMP裝置資料以每秒5萬Hz的取樣頻率實時上傳到PreMaint專有云，振動訊號的細微變化都可以被東智PreMaint專家平臺識別分析，系統內建的大資料演算法有效識別了PUMP的劣化趨勢和故障智慧診斷，為PUMP裝置的安全執行保駕護航。
行業背景
半導體企業連續化生產進度對裝置穩定性，安全性的依賴度較高，如發生裝置質量問題，輕則影響面板的生產質量，重則引發計劃外的停機事故，造成巨大的經濟財產損失。大型的半導體生產企業生產規模巨大，車間廠房生產裝置眾多，導致傳統的基於點巡檢的維修管理手段工作量巨大，對於生產狀態良好的生產裝置極易造成過度維護，對於一些因長時間服役造成疲勞破壞的裝置又顯得維護不足。
在半導體生產製程中，PUMP是關鍵部件之一，有助於CVD化學氣相沉積等核心製程的穩定性提高及能耗降低。PUMP宕機會造成機臺無法正常運轉，造成產能上的損失，更可能導致製程腔倒灌，對機臺造成損害。以某次CVD製程中的PUMP為例，生產過程中會產生大量的固態粉塵，從而導致PUMP卡死。目前由於缺乏有效的裝置監測手段，裝置極易出現非計劃停機，每年造成企業近千萬元的經濟損失。
解決方案
由於裝置現場空間密閉、侵入式的資料採集會對原裝裝置、工藝造成不可預算的風險。基於這些因素客戶採用了東智GVS系列無線振動溫度一體感測器，透過磁吸固定在PUMP上進行高頻資料的採集，並透過閘道器將採集到的振動和溫度資料實時傳輸到PreMaint系統中，結合PUMP本體工況資料綜合分析評估裝置的執行狀態。
PreMaint可以有效感知並診斷出這類積累性故障問題。其中，感知硬體如訊號監測感測器負責24小時不間斷監測裝置的執行狀態；軟體部分透過分析裝置執行資料，評估裝置的劣化過程並給出裝置異常狀態預警及報警。
圖。部署在 PUMP上的訊號監測感測器
方案的優勢在於：
1。GVS感測器透過磁座固定在PUMP上，不會對裝置造成破壞，對裝置執行無影響。
2。GVS感測器透過特製電池供電，續航時間3年。
3。系統採用無線部署，實施快速，無線效能強悍，即使在PUMP高溫密閉的工作環境下，資料傳輸仍然保持穩定。
4。PreMaint系統內建30+資料分析演算法，可對監測資料進行多維的分析，準確評估裝置狀態。
監測案例
在方案部署後的一個月內，PreMaint明確感知出裝置的裂化趨勢。
如圖，可看到：
——3月28日-5月4日，裝置執行穩定，未見存在明顯的劣化，但3月31日（P1）和4月28日（P2）因裝置報尾排壓力異常存在短暫的停機，停機，檢查未見明顯異常，後啟機執行 ；
——5月4日09：30-5月4日16：16，異物引入（體積較大的顆粒進入），導致PUMP排氣不暢，監測的有效值急劇上升，同時伴隨著溫度急劇上升；
——異物排除，PUMP執行狀態改善，監測的有效值急劇下降，同時伴隨著溫度下降，但轉子存在輕微損傷，監測的有效值相較前期有輕微的上升，且開始緩慢劣化。
應用成效
企業過去為保證PUMP健康穩定工作，主要還是依靠定期保養或點檢表單例行檢查，根據連續運轉時間並配合望聞問切的基礎方式偏經驗式的做預判。在消耗了大量人力進行點檢的同時，仍會出現多次異常導致裝置宕機停機，損失高達千萬。
PreMaint透過高頻採集PUMP執行狀態引數，準確判斷出PUMP的劣化趨勢，提前提醒客戶裝置的潛在故障，並進行及時修復，避免了裝置非計劃停機對生產造成影響，有效延長了裝置的使用壽命，提高裝置與人員管理效率。PreMaint的綜合性能比國外同類產品最佳化1倍以上。日前，PreMaint在半導體行業的落地實踐取得了更多突破，在生產裝置上的應用效果顯著，獲得客戶高度認可。
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