昨（9）日，東航物流旗下中國貨運航空CK248貨運包機航班從大阪飛抵上海浦東機場，機上載有物資共計41噸，其中20噸為積體電路企業所需的原材料光刻膠，21噸為相關配套裝置。這批光刻膠和裝置到港後將運往上海多家積體電路企業。
光刻膠是一種對光敏感的混合液體，其主要作用是透過光化學反應，基於曝光、顯影等光工序將所需要刻蝕的細微圖形從光罩（掩模版）轉移到待加工矽基片上。除了提高加工精度，光刻膠還可以保護矽基材免受腐蝕，阻止離子影響。
光刻膠材料是積體電路製造領域的重要關鍵材料，廣泛應用於350nm-14nm甚至 7nm 技術節點的積體電路製造工藝。隨著國內IC行業的快速發展，自主創新和國產化步伐的加快，以及先進製程工藝的應用，光刻膠的用量不斷提升。
4月16日，上海公佈復工“白名單”，66家半導體公司在內。隨著企業的復工復產，積體電路企業的原材料航空運輸需求也明顯增強。東航物流和上海市積體電路行業協會建立緊密對接聯絡，提供全方位的物流解決方案，為多家積體電路企業原材料進口進行保駕護航。
據瞭解，5月1日至8日，東航物流已累計為上海積體電路企業保障進口光刻膠45噸。（文：拓墣產業研究 Arely整理）
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